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Anregung und Auswertung von resonanten mikromechanischen Strukturen mit elektrostatischem Antrieb und kapazitivem Detektor in Mikrosystemen
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Autor: Udo Sobe Verlag: Shaker Taschenbuch Auflage: 1., Aufl. Seiten: 196 ISBN-10: 3-8322-2512-9 ISBN-13: 978-3-8322-2512-4 ISBN: 3832225129 Preis: Preis und Verfügbarkeit anzeigen weitere Infos | Rezensionen | kaufen |
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